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国产芯片加速前进,“冰刻技术”迎来突破!

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发表于 2021-3-8 08:49:18 | 显示全部楼层 |阅读模式
光刻机是我国芯片制造业一大痛点,目前,在EUV光刻机赛道中,仅有ASML一个玩家。然而,受到《瓦尔森协定》的约束,ASML无法向中国大陆出售EUV光刻机。光刻机的短缺卡住了中国芯片的脖子。


   西湖大学纳米光学与仪器技术实验室负责人仇旻及其团队,已经在该领域攻克8年之久,诸多成绩已经逐渐显现。其已经研发出我国首台“冰刻”系统已经;目前,冰刻系统2.0也在全力研发之中。

仇旻对冰刻技术抱有极大热情,他表示这是项令人激动的新技术。他认为,冰刻技术将解决光刻无法解决的难题,并开辟出全新的科学交叉和研究方向。

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