清华大学实现光刻机核心技术突破！

不爱星巴克

清华大学正式宣布，由他们团队研发的新型技术粒子加速器光源“稳态微聚束”（SSMB），目前已经取得了圆满的成功，目前首个原理实验也已经取得了很大的成效，并且还已经刊登在了名为《自然》的世界科学杂志上。

而这一次清华大学技术团队研发的技术光源，耗费了该团队超过四年的时间，可以获得窄带宽、高功率、高中频率的相干辐射， 可以成功实现从太赫兹覆盖到EUV波段，

意味着在相关领域的技术上，我们已经达到了全球顶尖水平，而接下来要做的，就是匹配上下游的供应链，最终实现国产EUV光刻机的自主研发。